CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications - Microtechnology and MEMS - D. Lange - Bøker - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540431435 - 23. juli 2002
Ved uoverensstemmelse mellom cover og tittel gjelder tittel

D. Lange

CMOS Cantilever Sensor Systems: Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications - Microtechnology and MEMS 2002 edition

Pris
Kč 2.240

Bestillingsvarer

Forventes levert 1. - 9. des
Julegaver kan byttes frem til 31. januar
Legg til iMusic ønskeliste
eller

Finnes også som:

This book is intended for scientists and engineers in the field of micro- and nano electro-mechanical systems (MEMS and NEMS) and introduces the development of cantilever-based sensor systems using CMOS-compatible micromachining from the design concepts and simulations to the prototype.


142 pages, biography

Media Bøker     Innbunden bok   (Bok med hard rygg og stivt omslag)
Utgitt 23. juli 2002
ISBN13 9783540431435
Utgivere Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Antall sider 142
Mål 166 × 243 × 14 mm   ·   340 g
Språk Engelsk