Lithography Process Control - Tutorial Texts - Harry J. Levinson - Bøker - SPIE Press - 9780819430526 - 1. februar 1999
Ved uoverensstemmelse mellom cover og tittel gjelder tittel

Lithography Process Control - Tutorial Texts


Få en e-post når varen er tilgjengelig
Har du en profil? Logg inn
Få varsel om nye utgivelser fra Harry J. Levinson
Legg til iMusic ønskeliste
eller

Ikke vurdert ennå

This text is intended to be a self-contained tutorial on lithography process control. It works as an introduction to those entering the field, and as a reference for the experienced lithography engineer. Topics covered include linewidth control, overlay, and yield.


194 pages, Illustrations, 1 port.

Media Bøker     Pocketbok   (Bok med mykt omslag og limt rygg)
Utgitt 1. februar 1999
ISBN13 9780819430526
Utgivere SPIE Press
Antall sider 194
Mål 150 × 220 × 10 mm   ·   444 g

Mere med samme udgiver