Lithography Process Control - Tutorial Texts - Harry J. Levinson - Bøker - SPIE Press - 9780819430526 - 1. februar 1999
Ved uoverensstemmelse mellom cover og tittel gjelder tittel

Lithography Process Control - Tutorial Texts


Få en e-post når varen er tilgjengelig
Har du en profil? Logg inn
Legg til iMusic ønskeliste
eller

This text is intended to be a self-contained tutorial on lithography process control. It works as an introduction to those entering the field, and as a reference for the experienced lithography engineer. Topics covered include linewidth control, overlay, and yield.


194 pages, Illustrations, 1 port.

Media Bøker     Pocketbok   (Bok med mykt omslag og limt rygg)
Utgitt 1. februar 1999
ISBN13 9780819430526
Utgivere SPIE Press
Antall sider 194
Mål 150 × 220 × 10 mm   ·   444 g

Mere med samme udgiver