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![Cover for Cornelia Klein · Sol-gel-verfahren Für Die Herstellung Von Zirkoniumdioxidschichten: Schichtcharakterisierung Und Anwendung Als Hartmaskenmaterialien in Der Halbleitertechnik (Pocketbok) [German edition] (2011)](https://imusic.b-cdn.net/images/item/original/873/9783838127873.jpg?cornelia-klein-2011-sol-gel-verfahren-fur-die-herstellung-von-zirkoniumdioxidschichten-schichtcharakterisierung-und-anwendung-als-hartmaskenmaterialien-in-der-halbleitertechnik-pocketbok&class=scaled&v=1408617864)