Rapid Thermal Processing: Science and Technology - Fair - Bøker - Elsevier Science Publishing Co Inc - 9780122476907 - 15. april 1993
Ved uoverensstemmelse mellom cover og tittel gjelder tittel

Fair
Rapid Thermal Processing: Science and Technology

Få en e-post når varen er tilgjengelig
Har du en profil? Logg inn

Kundene våre sier:

14 dages returrett
Toppvurdering på Trustpilot
Legg til iMusic ønskeliste
eller

Discusses rapid thermal processing (RTP), an essential manufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. The text provides information on the suitability of RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy and "in situ" processing.

430 pages

Media Bøker     Innbunden bok   (Bok med hard rygg og stivt omslag)
Utgitt 15. april 1993
ISBN13 9780122476907
Utgivere Elsevier Science Publishing Co Inc
Antall sider 430
Mål 152 × 229 × 25 mm   ·   725 g
Redaktør Fair, Richard B.

Mer med Fair

Vis alle

Mere med samme udgiver

Se alt med Fair ( f.eks. Innbunden bok , Pocketbok og Bok )