Fortell venner om denne varen:
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems Francis E H Tay Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2002 edition
Pris
NOK 1.469
Bestillingsvarer
Forventes levert 10. - 18. jun
Legg til iMusic ønskeliste
eller
Finnes også som:
Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems
Francis E H Tay
Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.
328 pages, 176 black & white illustrations, biography
| Media | Bøker Pocketbok (Bok med mykt omslag og limt rygg) |
| Utgitt | 3. desember 2010 |
| ISBN13 | 9781441953032 |
| Utgivere | Springer-Verlag New York Inc. |
| Antall sider | 299 |
| Mål | 155 × 235 × 17 mm · 458 g |
| Språk | Engelsk |
| Redaktør | Tay, Francis E. H. |