Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques - R J Shul - Bøker - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540667728 - 28. august 2000
Ved uoverensstemmelse mellom cover og tittel gjelder tittel

Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques

Pris
NOK 3.699

Bestillingsvarer

Forventes levert 16. - 24. sep
Få varsel om nye utgivelser fra R J Shul
Legg til iMusic ønskeliste
eller

Ikke vurdert ennå

Finnes også som:

The ability to make small features in Si, metals, dielectrics and other materials has enabled rapid advances in computing and all other technologies that depend on microelectronics, miniature sensors and actuators and magnetic data storage. This work looks at plasma techniques, which enable the fine control and accurate pattern transfer.


655 pages, 141 black & white illustrations, 10 colour illustrations, biography

Media Bøker     Innbunden bok   (Bok med hard rygg og stivt omslag)
Utgitt 28. august 2000
ISBN13 9783540667728
Utgivere Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Antall sider 655
Mål 166 × 244 × 49 mm   ·   1,05 kg
Språk Tysk  
Redaktør Pearton, S. J.
Redaktør Shul, R. J.

Mer fra samme **utgiver**