Fortell venner om denne varen:
Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques R J Shul
Pris
NOK 3.699
Bestillingsvarer
Forventes levert 16. - 24. sep
Få varsel om nye utgivelser fra R J Shul
Legg til iMusic ønskeliste
eller
Finnes også som:
Handbook of Advanced Plasma Processing Techniques
R J Shul
The ability to make small features in Si, metals, dielectrics and other materials has enabled rapid advances in computing and all other technologies that depend on microelectronics, miniature sensors and actuators and magnetic data storage. This work looks at plasma techniques, which enable the fine control and accurate pattern transfer.
655 pages, 141 black & white illustrations, 10 colour illustrations, biography
| Media | Bøker Innbunden bok (Bok med hard rygg og stivt omslag) |
| Utgitt | 28. august 2000 |
| ISBN13 | 9783540667728 |
| Utgivere | Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm |
| Antall sider | 655 |
| Mål | 166 × 244 × 49 mm · 1,05 kg |
| Språk | Tysk |
| Redaktør | Pearton, S. J. |
| Redaktør | Shul, R. J. |