Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems - Francis E H Tay - Bøker - Springer-Verlag New York Inc. - 9781441953032 - 3. desember 2010
Ved uoverensstemmelse mellom cover og tittel gjelder tittel

Materials & Process Integration for MEMS - Microsystems Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2002 edition

Pris
NOK 1.469

Bestillingsvarer

Forventes levert 10. - 18. jun
Legg til iMusic ønskeliste
eller

Finnes også som:

Although standard IC fabrication steps, particularly lithographic techniques, are leveraged heavily in the creation of MEMS devices, additional customized and novel micromachining techniques are needed to develop sophisticated MEMS structures.


328 pages, 176 black & white illustrations, biography

Media Bøker     Pocketbok   (Bok med mykt omslag og limt rygg)
Utgitt 3. desember 2010
ISBN13 9781441953032
Utgivere Springer-Verlag New York Inc.
Antall sider 299
Mål 155 × 235 × 17 mm   ·   458 g
Språk Engelsk  
Redaktør Tay, Francis E. H.

Mere med samme udgiver